等离子清洗机设备选型指南

PDMS芯片键合问题，主要是依靠的是等离子清洗设备键合的方式，至于其它科研场合多种多样的键合方式本文暂不提及。微流控领域常用的有：

美国harrick等离子清洗机PDC-002

成都铭恒等离子清洗机PDC-MG

上海沛沅等离子清洗机PLUTO-T

山东招远等离子清洗机PTL-VM500

对于等离子设备的选型问题，主要是针对市面上几万元的设备来进行阐述，主要是从设备的功率、射频等离子源的频率、用户资金预算等方面进行综合考虑。

1、设备的功率：国产等离子设备的功率基本上都标注150W或者300W，进口harrick等离子设备功率标注为30W或者45W，因为设备的工作原理不同，比较国产与进口之间设备的功率没有对比意义，而对于国产设备，我们优先选择功率300W的设备。

2、射频等离子源的频率：有40KHz和13.56MHz两种规格，一般对于PDMS键合的应用场景，这两种频率都是完全可以满足需求的，针对PDMS和非常规材料（定制的玻璃片、石英片、塑料）的等离子键合，13.56MHz的频率键合效果更好些。

3、用户预算：PDC-002的市场售价在8万左右，货期及售后是潜在的隐患问题；PDC-MG的市场售价在6万左右，在微流控领域用户群体较多；PLUTO-T主攻出口，产品外观设计在国产设备中处于领先地位，市场价格在同类产品中优势非常明显，市场售价在5万以下；PTL-VM500拥有广泛的用户基础，非常适合预算相对不足的客户，市场售价4万左右。

综合以上各种因素，我们给出的选型方案有2个：预算较少的话，就选择PTL-VM500型号；预算充足的话，就选择PLUTO-T。至于PDC-MG和PDC-002型号，单纯的比较性能和价格的话，是没有优势的，我们不干预用户自己的选择，只是和大家分享下在微流控领域多年从业经验的总结，仅供大家参考，也欢迎广大用户和友商提出批评和建议 ，以便我们更好的进步。