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一站式微流控芯片实验室

简要描述:一站式微流控芯片实验室,SU-8光刻台式工作站涵盖您在实验室加工微流体模具所需要的一切组件,即使没有超净间,凭借该工作站,您也可以加工出来具有与超净间相同的分辨率的模具。SU-8模具工作站可以缩短芯片加工的总时间。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-03-09
  • 访  问  量:218
详细介绍

SU-8模具加工站是一个交钥匙的产品,无需购买任何其他设备。基本上仅需要一个化学通风厨和少量的工作空间。我们也可以根据您实验室内现有的设备来调整报价。
一站式微流控芯片实验室优势&特点:
(1)为易用性设计,达到与超净室相同的图案分辨率
(2)易于通过面板或PC进行操作编程
(3)能够设置多种加速度和速度的复杂序列
(4)无堵塞,延长使用寿命
(5)低振动,转速高达12000 rpm
(6)提供晶圆对中工具
(7)即使没有微流控加工的初步知识,也可以熟练的加工模具

一站式微流控芯片实验室包含的工作组件:
(1)可编程旋涂机
(2)可编程数码电热板
(3)可编程UV灯系统
包括所有化学药品(SU-8,SU-8显影液、Omnicoat、异丙醇、丙酮等)和所有实验室配件(微量移液枪、计时器、玻璃器皿、封口膜、镊子、金刚石刮板、硅片、玻璃载玻片、一次性杯子、搅拌棒等),以便为您提供完整的套件。
可编程旋涂机:适用于软光刻应用的设备

该旋涂机结构紧凑,并且具有可编程功能。
它适用于直径ø150 mm的晶圆和5” × 5”(127 mm × 127 mm)的基板。
此旋涂机经过微调,可加工可控和可重复的SU-8光致抗蚀剂层。
其紧凑的尺寸和附加的小控制面板使该设备实现真正的移动。该旋涂机已广泛应用于SU-8光刻胶涂层。盖子上的孔可以进行动态SU-8涂覆。通过蓝牙轻松连接到您的PC,您可以保存并命名您的实验配方。
主要优势:
(1)为易用性设计
(2)易于通过操作面板或PC进行编程
(3)能够设置多种加速度和速度的复杂序列
(4)无堵塞,延长使用寿命
(5)低振动
(6)转速高达12000 rpm
(7)提供晶圆对中工具
可编程数码电热板:适用于软光刻应用的设备

确保准确、均匀且稳定的温度设定点。该数字式热板设备可设置温度斜坡以进行加热和冷却。通过可编程控件使您的生活更加轻松,这些控件可以实现光刻过程的自动化。
可编程热板的顶板和很大的加热表面积使它具有足够宽的区域,温度均匀,可以在4英寸的晶片上有效地烘烤SU-8光刻胶。温度斜坡使得能够减小光致抗蚀剂层内部的机械应力。可编程工具可进行长时间的光刻胶烘烤,而无需停留在设备的面。
主要优势:
(1)加热和冷却的温度斜坡曲线
(2)4英寸晶圆的高温均匀性
(3)微处理器显示屏保持温度恒定
(4)小温度超调
(5)自动计时器
(6)光滑的铝板,易于清洁光刻胶
可编程UV灯系统:适用于软光刻应用的设备

*的UV LED曝光和遮罩系统(可选),具有365 nm或者385 nm波长的可用光源。这是一种非常紧凑的台式系统,能够对直径大为4英寸的晶圆表面积进行曝光。该自动UV曝光系统与硬(物理)或软(接近)掩膜触点兼容,并具有可变的掩膜到基板距离的控制功能。
该UV曝光系统具有2μm的分辨率,特别适合软光刻应用。闪光曝光可以减少光刻胶的内部机械应力。其体积小巧,可将其安装在所需的任何位置,尤其是在洁净室之外。
主要优势:
(1)晶圆表面上方的wan美单色曝光(带宽低于10 nm)
(2)冷紫外线
(3)光线发散角<2°
(4)强大的功率密度
(5)LED使用寿命长:超过1万小时,相当于8-10年的使用时间
(6)用户友好的触摸屏界面,可进行曝光周期编程
(7)无需预热时间
(8)直观的UV光源强度控制
(9)自动化晶圆加载和卸载系统
(10)可与玻璃和塑料光罩一起使用
(11)在4英寸晶圆上具有很高的紫外线均匀度
(12)集成紫外线仪表
更多内容:
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由于每个实验室都是不同的,因此,每个研究都是*的,所以我们会根据实际需求尽可能地调整报价。我们与您一起讨论什么是效率高的设备,从而增加或删除设备、配件、化学品等等。
微流控芯片PDMS加工实验室空间方案图

 

 

 

 


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