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真空等离子表面处理系统

简要描述:真空等离子表面处理系统由真空腔体及高频等离子电源、抽真空系统、充气系统、自动控制系统等部分组成。工作基本原理是在真空状态下,等离子作用在控制和定性方法下能够电离气体,利用真空泵将工作室进行抽真空达到30-40pa 的真空度,再在高频发生器作用下,将气体进行电离,形成等离子体(物质第四态),其显著的特点是高均匀性辉光放电,根据不同气体发出从蓝色到深紫色的彩色可见光,材料处理温度接近室温。

  • 产品型号:PTL-VM500
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2021-11-30
  • 访  问  量:232
详细介绍

真空等离子表面处理系统优点:

1.环保技术:等离子体作用过程是气- 固相干式反应,不消耗水资源、无需添加化学药剂,对环境无污染。

2.广适性:不分处理对象的基材类型,均可进行处理,如金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料都能很好地处理。

3.温度低:接近常温,特别适于高分子材料,比电晕和火焰方法有较长保存时间和较高表面张力。

4.功能强:仅涉及高分子材料浅表面(10 -1000 埃),可在保持材料自身特性的同时,赋予其一种或多种新的功能;

5.低成本:装置简单,易操作维修,可连续运行,往往几瓶气体就可以代替数千公斤清洗液,因此清洗成本会大大低于湿法清洗。

6. 全过程可控工艺:所有参数可由电脑设置和数据记录,进行工艺质量控制。

7. 处理物几何形状无限制:大或小,简单或复杂,部件或纺织品,均可处理。


技术参数

1、设备外形尺寸: 450mm*400mm*260mm

2、真空仓体尺寸: Φ151×285(L)mm (5L)

3、仓体结构: 不锈钢腔体,内置容性耦合电极,无污染,内置石英托盘。

4、等离子发生器: 频率40KHZ,功率0-300W 调节,全电路保护,连续长时间工作(风冷)。

5、控制系统:PLC 触摸屏全自动控制,采用欧姆龙、施耐德等进口品牌电器元件,有手动、自动两种控制模式,真彩台达触摸屏,西门子可编程控制器(PLC),美国产真空压力传感系统,可在线设定、修改、监控真空压力、处理时间、等离子功率等工艺参数,并具有故障报警、工艺存储等多种功能。在自动模式下设置各项工艺参数,即可一键启动,连续重复运行。手动模式用于实验工艺以及设备维护维修。


工艺流程

1、处理工艺流程

装入工件→抽真空→冲入反应气体→等离子放电处理→回冲气体→取出工件

2、工艺控制:

2.1 处理时间控制: 1 秒~120 分钟连续可调。

2.2 等离子放电压力:绝对压力为98Kpa~真空泵最高能力(相对压力为30~80Pa)

2.3 功率设定范围:0~300W 连续可调

2.4 流量设定范围: 气体1(0~60ml/min) 气体2(0~160ml/min)

3、PLC 软件功能(操控界面)

3.1 主画面:实时监视并显示运行状态及数据,等离子电源功率、气体流量、阀门开

关、真空压力、运行时间等。

3.2 参数设置:可设定、修改工艺参数及步骤

3.3 工作状态:可在线查看真空压力、等离子功率等数据及状态

3.4 故障报警:多种故障检测、报警及互锁保护


场地要求

电源:两相三线,独立接地,接地电阻≤2Ω。应使用截面积3mm2 以上的接地线将设备接至PE。

真空泵排放气管:软管,管径(内径)建议将排气管接至室外

场地温度:≤40℃

相对湿度:RH(35-85)%

 


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