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如何合理的选择小巧型匀胶机

时间:2022-11-09  点击次数:22
   小巧型匀胶机主要用于晶片涂光刻胶,有自动、手动和半自动三种工作方式。在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备,膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度。
 
  1、旋转速度:转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速如果误匀胶机图册差很大,对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。国产的大部分低端匀胶机只能提供转速范围,并不能标定实时的转速。
 
  2、真空吸附系统的构造
 
  真空泵一定要无油的,压力标定准确,国内生产的无油真空泵实在不敢恭维。因为任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,会导致基片吸附不住而产生“飞片”的情况,还会让滴胶液不慎进入真空管道系统造成堵塞。用过国产匀胶机的客户常常会关心怎么清洗的问题,这一点许多国外的匀胶机做得不错,他们有通过联动机制,如果真空吸附力不够的时候,不会开始旋转。
 
  3、材质的选择
 
  匀胶机对于半导体化工行业的应用来说,材质的选择尤为关键,国产的大部分匀胶机采用的是铁板喷漆或者普通塑料材质,因为这种材质的成本很低。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话,将会导致旋涂时,时高时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效果。

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