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如何更好的选择匀胶烤胶机

时间:2022-07-11  点击次数:50
   匀胶烤胶机是针对半导体工艺生产中晶圆烘烤而设计的一款产品,采用新颖的数字式加热设计,可以精准的控制表面温度;坚固耐腐蚀的铝合金面板,优异的导热性可以满足多种应用场景;数字式显示器可迅速编码准确控制温度;独立的防过热电路设计,确保实验安全。
 
  1、旋转速度:转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速如果误匀胶机图册差很大,对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。国产的大部分低端匀胶机只能提供转速范围,并不能标定实时的转速。
 
  2、真空吸附系统的构造
 
  真空泵一定要无油的,压力标定准确,国内生产的无油真空泵实在不敢恭维。因为任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,会导致基片吸附不住而产生“飞片”的情况,还会让滴胶液不慎进入真空管道系统造成完全堵塞。
 
  3、材质的选择
 
  对于半导体化工行业的应用来说,材质的选择尤为关键,国产的大部分匀胶烤胶机采用的是铁板喷漆或者普通塑料材质,因为这种材质的成本很低。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话,将会导致旋涂时,时高时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效果。目前有些国外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟隆)材质。这两种材质具备绿色环保、节约资源、重量轻、强度大、抗冲击性能好、坚固耐用、花纹自然、光泽度好等优点。
 
  
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