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工艺不同,等离子清洗机的分类也有所不同

时间:2022-10-15  点击次数:63
   等离子清洗机除了具有超清洗功能外,在特定条件下还可根据需要改变某些材料表面的性能,等离子体作用于材料表面,使表面分子的化学键发生重组,形成新的表面特性。对应不同的污染物,应采用不同的清洗工艺,根据选择的工艺气体不同,等离子清洗分为化学清洗、物理清洗及物理化学清洗。
 
  1化学清洗:表面作用以化学反应为主的等离子体清洗,又称PE。氧等离子体通过化学反应可使非挥发性有机物变成易挥发的H2O和CO2。氢等离子体通过化学反应可以去除金属表面氧化层,清洁金属表面。
 
  2物理清洗:表面作用以物理反应为主的等离子体清洗,也叫溅射腐蚀(SPE)。Ar+在自偏压或外加偏压作用下被加速产生动能,然后轰击在放在负电极上的被清洗工件表面,一般用于去除氧化物、环氧树脂溢出或是微颗粒污染物,同时进行表面能活化。
 
  3物理化学清洗:表面作用中物理反应与化学反应均起重要作用。
 
  等离子清洗机在使用过程中,腔体内出现的一些残留物和氧化层,在前期发展阶段,该薄层并不影响设备的运行或成品。但是经过持续的运转后,发现了清洗效果不稳定,能察觉到微小改变,所以在使用一段时间之后是需要将托板架与电极进行清洗翻新。同时设备出现的故障也直接体现设备的保养的程度。如经适当的维修、翻新,电极的使用寿命可达到预期使用的最大值。那么通过等离子清洗设备的原理和构成制定可行性保养计划很关键。
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