温度对去胶的影响
氧气对去胶的影响
射频频率的影响
射频功率的影响
真空度对去胶的影响
在干法去胶中,温度对去胶速率影响最大,其次是射频功率和氧气流量,而反应压力对干法去胶速率影响最小
氧气流向对去胶效果的影响
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